产品由基础功能和插件功能组成,卓越的插件功能是与其他业界产品的最大差异化体现。

高精度电阻计算工具
通过有限差分法实现高速、高精度电阻计算
可以直接在版图编辑器上执行
可计算跨层配线的电阻
可精确计算任意角度等复杂图形的电阻
可计算电极的电阻分布
支持批处理模式,可一次进行多个处理。


 



高精度电容提取工具
FPD面板专用高精度3D电容计算工具
可计算1整根数据线或扫描线的电容
可计算像素中两两图形间的电容
可计算任意角度的复杂图形
可计算工艺误差造成图层偏移后的电容
可计算考虑CD Bias后的电容
支持非平坦process
支持悬浮导体
支持多层图形的电容计算
通过3D视图显示计算结果
可显示横截面结构
通过3D视图显示横截面的电势分布,
从而确定耦合电容的效果


 



曝光用Shot自动生成工具
自动分割面板,生成Shot
- 在分割位置自动生成Blind、Patch图形
Shot配置功能
- 中间掩模、Glass的Shot解析显示
- 配置检查功能(Shot间的间隙)
各种检查功能
- 检查stage移动量、可曝光区域、Blind区域
浮标信息输出功能
- 输出Shot、对齐Mark的中心坐标信息(CSV、Text)
重新分割功能
- 重新分割变更过的版图,自动替换之前的分割结果。